影像測量儀的精度是其關鍵指標，是保證測量精度的保證之一。精度通常以分辨率和誤差范圍來衡量，不同型號和配置的影像測量儀精度會有所不同。

精度分類

一般測量精度

一般測量精度通常其分辨率為0.001mm，測量精度一般為(3L/200)μm左右。

高精度測量精度

為了滿足現代制造業對尺寸檢測日益突出的更高速、更便捷、更精準的測量需求，一些廠商推出了高精度的影像測量儀。例如，中圖儀器的CHT系列高精度全自動影像測量儀，其精度可以高達1.8μm。此外，還有一些高端影像測量儀的測量精度可達到2.5微米。

影響精度的因素

影像測量儀的精度不僅取決于儀器本身的性能，還受到許多外部因素的影響。例如，測量線性尺寸的坐標測量機、配置轉臺軸線為第四軸的坐標測量機、掃描測量型坐標測量機、多探針探測系統的坐標測量機等都可能影響測量精度。亮載件可精度指示、結構原理、測量紙味方法、日常不注意維護等也是影響影像測量儀精度的因素。

應用領域

影像測量儀適用于以二維平面測量為目的的一切應用領域，但主要還是用在卡尺、角度尺很難測量到或根本測量不到的，但在裝配中起重要作用的零部件尺寸、角度等測量中。